Der PDX8000 von Advanced Energy ist ein
Leistungsgenerator für den Frequenzbereich von
340 - 440kHz.
Er liefert eine Ausgangsleistung von 100W bis zu
8000W.
Netzversorgung: US - Drehstromnorm, 200/208V AC (180 - 230V) , 29A, 3-Phase, 50/60Hz
Wassergekühlt.
Benutzt wird er für
- PECVD
- Ätzen
- Dieelektrisches Sputtering
- Plasma - Polymer Prozess
- Substrat- Biasing
Ein Datenblatt zu diesem Artikel finden Sie
hier.
The Advanced Energy PDX8000 is a
340 - 440kHz RF Generator with an output range of 100W to
8000W
200/208 Volts AC (180 - 230V) , 29 A, 3ph, 50/60Hz
Water cooled
It is used for
- PECVD
- Etch
- Dieelectric Sputtering
- Plasma Polymer Process
- Substrate Biasing
Please find a corresponding data sheet
here.